豊富な計測項目
厚みとギャップを計測できます。また、それぞれに対し、偏差値・最大値・最小値・最大幅値（最大−最小）の演算値も表示出来ます。

導体・半導体の他、絶縁体の厚みも測定可能
CL-0300 絶縁体測定機能（オプション）により、薄いプラスチックフィルムやガラス板などの絶縁体の厚みを計測することができます。

導通が完全に取れないサンプルなども安定した厚み計測が可能
サンプルをフッ素系膜でコーティングしたテーブルで保持する場合などは、サンプルと本体（コモン）間の導通を取ることが困難でした。これまでは、広い面積でサンプルと接触させることで安定性を確保する必要がありましたが、CL-0210 高インピーダンス接地モード機能（オプション）により、その面積を小さくすることができます。また、同面積に於いてはより高い安定性を確保することができます。

高分解能演算機能オプション(CL-0200)で最小表示分解能 0.02 μｍ を実現＊1
＊1： VE-2011/5010/5011 使用時。VE-5010/5011 は、CL-0201 測定範囲変更オプションで、測定範囲を 20 ～ 200 μm にした場合に適用